Sales

Устройство автоматического согласования BDS AMN для ВЧ плазмы

 Компания BDISCOM представляет новое поколение автоматических согласующих устройств, работающих на стандартной частоте 13,56 МГц, разрешенной для промышленного и лабораторного применения. Типичные области применения включают процессы напыления, PECVD осаждения, плазменной активации, нагрева диэлектриков, лазерного возбуждения и др.

 

Автоматическое согласующее устройство BDS AMN 750

 

  • Модель BDS AMN 750: Автоматическое согласование при помощи переменных воздушных конденсаторов, работающих до 3000 В и до 20 А. Аналоговый порт позволяет работать с любыми ВЧ генераторами компании BDISCOM – BDS HF 200, 300 и 750 Вт.

 

Устройство автоматического согласования предназначено для работы с ВЧ (13,56 МГц) плазмой и позволяет изменять импеданс нагрузки до значения в 50 Ом при согласовании. В настроечном контуре L-типа применяются высококачественные переменные конденсаторы и прецизионные сервоприводы. Характерное время подстройки составляет менее 2 сек. Также доступна конфигурация для нагрузок с другим значением импеданса согласования.

 

Доступны широкие диапазоны предустановок. По запросу возможно оснащение системы внешним переключателем режима зажигания и рабочего режима, для независимой работы.

 

Оборудование сопрягается со всеми ВЧ генераторами BDISCOM. Опционально доступно конфигурация с тремя ВЧ выходами из одного согласующего устройства.

 

 

© 2016 ООО "ПИ ВИ ЭС" / PVS LLC

www.plasma-vacuum.com

Plasma &

Vacuum

Systems

  • LinkedIn - White Circle
  • Facebook - White Circle
  • Vkontakte - White Circle
  • Google+ - White Circle
  • YouTube - White Circle