Главная / Оборудование / BDISCOM - источники питания / BDS MF

Источники питания СЧ плазмы BDS MF

Современные и привлекательные по цене среднечастотные (СЧ) генераторы для любых низко- и высоковольтных PECVD (плазмастимулированное химическое осаждение из газовой фазы) и PVD (физическое осаждение из газовой фазы) процессов.

 

Источники питания СЧ плазмы высокого и низкого напряжения BDS MF 5 - 10 - 15 кВт @ 40 кГц

 

Генераторы BDS-MF работают на частоте 40 кГц с максимальной мощностью питания 5, 10 или 15 кВт, разработанные для возбуждения плазмы в PECVD процессах или в процессах плазменной очистки. Устройства позволяют передавать мощность до 10 кВт при действующем значении напряжения 7 кВ.

 

Сбалансированные выходные характеристики позволяют питать 2 симметричных электрода. Типичное применение такой схемы подключения – PECVD процессы в больших камерах. Уникальной особенностью оборудования является высоковольтный согласующий трансформатор, с 2-мя (стандартно) или 3-мя выходными контактами для согласования импеданса нагрузки.

 

Для работы Вам необходимо только присоединить два коаксиальных кабеля к электродам. Интерфейс и контроллер (ПЛК) могут быть как аналоговыми или цифровыми на базе RS232 или Profibus (опционально).

 

Особенности и преимущества:

 

• Встроенный выходной трансформатор согласования – не требуются дополнительные блоки.

• Воздушное охлаждение – отсутствие рисков, связанных с влажностью или утечкой воды.

• Оборудование может непрерывно работать на максимальной мощности при температуре до 40 °C.

• Аналоговый интерфейс.

• Цифровой интерфейс Profibus (опция).

• Дисплей на передней панели позволяет легко устанавливать режим и устранять неисправности.

• Высокая эффективность >90%.

• Компактная и легкая контсрукция - 20kg, 4UI.