
Sales
Главная / Оборудование / BDISCOM - источники питания / BDS MF

Источники питания СЧ плазмы BDS MF

Современные и привлекательные по цене среднечастотные (СЧ) генераторы для любых низко- и высоковольтных PECVD (плазмастимулированное химическое осаждение из газовой фазы) и PVD (физическое осаждение из газовой фазы) процессов.
Источники питания СЧ плазмы высокого и низкого напряжения BDS MF 5 - 10 - 15 кВт @ 40 кГц
Генераторы BDS-MF работают на частоте 40 кГц с максимальной мощностью питания 5, 10 или 15 кВт, разработанные для возбуждения плазмы в PECVD процессах или в процессах плазменной очистки. Устройства позволяют передавать мощность до 10 кВт при действующем значении напряжения 7 кВ.
Сбалансированные выходные характеристики позволяют питать 2 симметричных электрода. Типичное применение такой схемы подключения – PECVD процессы в больших камерах. Уникальной особенностью оборудования является высоковольтный согласующий трансформатор, с 2-мя (стандартно) или 3-мя выходными контактами для согласования импеданса нагрузки.
Для работы Вам необходимо только присоединить два коаксиальных кабеля к электродам. Интерфейс и контроллер (ПЛК) могут быть как аналоговыми или цифровыми на базе RS232 или Profibus (опционально).
Особенности и преимущества:
-
Встроенный выходной трансформатор согласования – не требуются дополнительные блоки.
-
Воздушное охлаждение – отсутствие рисков, связанных с влажностью или утечкой воды.
-
Оборудование может непрерывно работать на максимальной мощности при температуре до 40 °C.
-
Аналоговый интерфейс.
-
Цифровой интерфейс Profibus (опция).
-
Дисплей на передней панели позволяет легко устанавливать режим и устранять неисправности.
-
Высокая эффективность >90%.
-
Компактная и легкая контсрукция - 20kg, 4UI.