Sales

Источники питания СЧ плазмы BDS MF

info-eng
info-rus

Современные и привлекательные по цене среднечастотные (СЧ) генераторы для любых низко- и высоковольтных PECVD (плазмастимулированное химическое осаждение из газовой фазы) и PVD (физическое осаждение из газовой фазы) процессов.

 

Источники питания СЧ плазмы высокого и низкого напряжения BDS MF 5 - 10 - 15 кВт @ 40 кГц

 

Генераторы BDS-MF работают на частоте 40 кГц с максимальной мощностью питания 5, 10 или 15 кВт, разработанные для возбуждения плазмы в PECVD процессах или в процессах плазменной очистки. Устройства позволяют передавать мощность до 10 кВт при действующем значении напряжения 7 кВ.

 

Сбалансированные выходные характеристики позволяют питать 2 симметричных электрода. Типичное применение такой схемы подключения – PECVD процессы в больших камерах. Уникальной особенностью оборудования является высоковольтный согласующий трансформатор, с 2-мя (стандартно) или 3-мя выходными контактами для согласования импеданса нагрузки.

 

Для работы Вам необходимо только присоединить два коаксиальных кабеля к электродам. Интерфейс и контроллер (ПЛК) могут быть как аналоговыми или цифровыми на базе RS232 или Profibus (опционально).

 

Особенности и преимущества:

 

  • Встроенный выходной трансформатор согласования – не требуются дополнительные блоки.

  • Воздушное охлаждение – отсутствие рисков, связанных с влажностью или утечкой воды.

  • Оборудование может непрерывно работать на максимальной мощности при температуре до 40 °C.

  • Аналоговый интерфейс.

  • Цифровой интерфейс Profibus (опция).

  • Дисплей на передней панели позволяет легко устанавливать режим и устранять неисправности.

  • Высокая эффективность >90%.

  • Компактная и легкая контсрукция - 20kg, 4UI.