Sales

Устройство ручного согласования BDS VIMM для ВЧ плазмы

info-eng
info-rus

   BDS VIMM (Variable Inductor Manual Matching) – устройство ручного согласования, самое компактное ВЧ (13,56 МГц) индуктивное согласующее устройство на рынке с уникальными характеристиками.

 

  • Характерные области применения в ВЧ плазме пониженного давления – напыление, PECVD, плазменная очистка, плазменное травление и активация.

 

  • Одним из главных преимуществ оборудования является компактная и простая конструкция с широкими возможностями, благодаря встроенному переменному индуктивному контуру.

 

  • Оптимальным местом расположения является непосредственная близость к ВЧ вводу в вакуумную камеру.

 

  • Компоновка прибора может быть скорректирована по индивидуальному требованию заказчика.