Sales
Главная / Оборудование / BDISCOM - источники питания / BDS VIMM
Устройство ручного согласования BDS VIMM для ВЧ плазмы
info-eng
info-rus
BDS VIMM (Variable Inductor Manual Matching) – устройство ручного согласования, самое компактное ВЧ (13,56 МГц) индуктивное согласующее устройство на рынке с уникальными характеристиками.
-
Характерные области применения в ВЧ плазме пониженного давления – напыление, PECVD, плазменная очистка, плазменное травление и активация.
-
Одним из главных преимуществ оборудования является компактная и простая конструкция с широкими возможностями, благодаря встроенному переменному индуктивному контуру.
-
Оптимальным местом расположения является непосредственная близость к ВЧ вводу в вакуумную камеру.
-
Компоновка прибора может быть скорректирована по индивидуальному требованию заказчика.