Sales

Устройство ручного согласования BDS VIMM для ВЧ плазмы

   BDS VIMM (Variable Inductor Manual Matching) – устройство ручного согласования, самое компактное ВЧ (13,56 МГц) индуктивное согласующее устройство на рынке с уникальными характеристиками.

 

  • Характерные области применения в ВЧ плазме пониженного давления – напыление, PECVD, плазменная очистка, плазменное травление и активация.

 

  • Одним из главных преимуществ оборудования является компактная и простая конструкция с широкими возможностями, благодаря встроенному переменному индуктивному контуру.

 

  • Оптимальным местом расположения является непосредственная близость к ВЧ вводу в вакуумную камеру.

 

  • Компоновка прибора может быть скорректирована по индивидуальному требованию заказчика.  

 

© 2016 ООО "ПИ ВИ ЭС" / PVS LLC

www.plasma-vacuum.com

Plasma &

Vacuum

Systems

  • LinkedIn - White Circle
  • Facebook - White Circle
  • Vkontakte - White Circle
  • Google+ - White Circle
  • YouTube - White Circle