PVS MoS2 - D1/130-01

Вакуумная установка

для напыления триботехнических покрытий на основе дисульфида молибдена на детали узлов вращения

ГлавнаяОборудование / PVS MoS2 - D1/130-01

  Компания PVS предлагает Вакуумную установку PVS MoS2 - D1/130-01 для напыления триботехнических покрытий на основе дисульфида молибдена на детали узлов вращения. Установка предназначена для напыления многослойных антифрикционных покрытий на исследовательские образцы или детали узлов вращения.

 

 Установка оснащена следующими технологическими устройствами:

  • Ионным источником (типа УЗДУ), предназначенным для финишной очистки напыляемых поверхностей и ионного ассистирования в процессе роста тонких пленок;

  • Дуальной ВЧ магнетронной распылительной системой (МРС) для распыления мишени из дисульфида молибдена;

  • МРС постоянного тока для реактивного напыления износостойких слоев. 

 Технические характеристики:

 

  • Электрическая мощность,

      не более, кВт                                                     20

  • Объем камеры, л                                             130

  • Предельное остаточное

        давление, Па                                                10Е-4

  • Охлаждение                                                 водяное,                                                                             принудительное

  • Расход рабочих газов, л/ч                            0 ... 9

  • Количество подаваемых газов,

      не более, шт                                                        3

  • Температура нагрева подложек, 

       не более, С                                                       250

  • Рабочее давление

       пневмоустройств, МПа                                   0,5

  • Масса установки, не более, кг                    1000

  • Габариты установки (ШхГхВ), мм      1700х950х1850

  • Технологические возможности установки позволяют формировать многослойные покрытия дисульфида молибдена и промежуточных слоев износостойких материалов - оксидов, карбидов, нитридов, боридов металлов. 

  • Безмаслянная вакуумная откачная система позволяет обеспечить чистоту процесса и высокое качество выходной продукции.

  • Технологический цикл полностью автоматизирован и имеет возможность самостоятельного задания циклограммы процесса для управляемого напыления Вашего индивидуального покрытия.

  • Возможность модификации конструкции установки под Ваши требования.

Возникли вопросы?

Напишите нам, и мы сразу ответим

© 2016 ООО "ПИ ВИ ЭС" / PVS LLC

www.plasma-vacuum.com

Plasma &

Vacuum

Systems

  • LinkedIn - White Circle
  • Facebook - White Circle
  • Vkontakte - White Circle
  • Google+ - White Circle
  • YouTube - White Circle