PVS PlasmaModular

Настольные ВЧ плазменные системы

info-rus

Оборудование серии PlasmaModular является модульными настольными вакуумными системами для проведения высокочастотной (ВЧ) плазменной обработки (RFPT технологии, от англ. Radio Frequency Plasma Treatment) различных материалов  и предназначено для решения широкого спектра технологических задач.

ВЧ плазма – уникальная форма газового разряда, которая позволяет формировать условия обработки материалов, недоступные другими способами: высокая чистота процесса, относительно низкая энергия ионов (10-300 эВ), не вызывает интегрального нагрева и деструкции материалов, объемное воздействие заряженных частиц.

Широкий потенциал оборудования обеспечивается схемой исполнения систем на базе единой платформы, в состав которой входят технические средства создания вакуума, измерения давления, подачи газов, управления, электропитания; и технологического модуля, в состав которого входят вакуумная камера и устройства генерации высокочастотного газового разряда, при этом платформа имеет стандартное конструктивное исполнение, тогда как технологический модуль может быть сменным и иметь различное конструктивное исполнение для различных технологических процессов обработки. Оборудование опционально оснащается аналитическими и диагностическими приставками для контроля параметров технологического процесса или проведения научных исследований.

Схемы исполнения технологического модуля:

а) Плазмохимическое травление (ПХТ/PE) - емкостная (ВЧЕ) форма разряда, где верхний электрод активный, нижний заземлен или под потенциалом смещения;

б) Реактивное ионное травление (РИТ/RIE) - обратная схема ПХТ;

в) Система с вращающимся барабаном для обработки сыпучих материалов. Подключение электродов и их конфигурация может варьироваться;

г) Травление в индукционно-связанной плазме (ИСП/ICP Etch) - индукционная (ВЧИ) форма разряда с цилиндрическим индуктором;

д) ИСП с плоской катушкой;

е) кварцевая камера с керамической антенной для процессов очистки и стерилизации;

ж) схема с кольцевыми электродами для обработки протяженных изделий.

  • Модульная конструкция оборудования позволяет гибко и эффективно использовать потенциал техники в научных и технологических исследованиях или в промышленных процессах для малогабаритных объектов.

  • Вы приобретаете оборудование, которое именно Вам необходимо, а не то что есть на рынке и без возможности дальнейшей модернизации в ходе исследовательской деятельности. Вы самостоятельно выбираете исполнение технологического модуля, состав комплектующих и необходимые аналитические и диагностические приставки для Вашей задачи, а мы Вам в этом помогаем.

  • Наше решение модульного исполнения оборудования обеспечивает единство технических и метрологических средств обеспечения технологического процесса, и как следствие повышение объективности научно-технических результатов при сравнительных исследованиях влияния различных способов генерации ВЧ плазмы на объект исследования. Примером может служить технологический процесс травления пластин микроэлектроники и оптических изделий, который возможно реализовать при различных способах генерации плазмы – в ВЧЕ или ВЧИ разряде, и при различных конструктивных исполнениях вакуумной камеры и внутрикамерных устройств.

  • Вы получаете самое доступное по цене и качеству предложение, потому что для нас унификация частей оборудование позволяет оптимизировать расходы на этапах проектирования, изготовления и модернизации.

 

Потенциал оборудования обеспечивает реализацию следующих технологических процессов на базе единой платформы:

  • плазмохимическое и реактивное травление в ВЧЕ или ВЧИ разряде (PE, RIE, ICP Etch) оптических, полупроводниковых материалов, тонких пленок;

  • плазмохимическое осаждение (PECVD) покрытий в результате реакций восстановления/пиролиза/замещения/соединения продуктов газовой фазы на поверхности изделий;

  • плазмохимическая обработка порошков в целях восстановления/окисления, очистки, активации поверхности, дезагрегация наночастиц;

  • плазменная полировка различных материалов - оптики, металлов, керамики и др.;

  • плазменное ВЧ легирование металлов и сплавов - плазмастимулированная химико-термическая обработка;

  • адгезионная активация поверхности полимеров и текстильных материалов - позволяет в разы увеличить адгезию поверхности перед покраской, пропиткой, нанесением покрытий и склеиванием;

  • обработка пористых материалов для создания мембран тонкой очистки;

  • технологии очистки и обеззараживания различных изделий.

Опциональные дополнения к оборудованию:

  • Химостойкое исполнение вакуумной системы для агрессивных газов

  • До 4-х линий подачи рабочих газов

  • Автоматическое управление с ноутбука

  • Различное исполнение технологического модуля

Аналитические/диагностические модули:

 

  • масс-спектрометрия для анализа состава рабочих газов в камере во время процесса;

  • оптическая спектрометрия плазмы – бесконтактный анализ параметров газового разряда (химического состава, концентрации и энергии частиц) по спектру излучения или поглощения;

  • зондовая диагностика – зонд Ленгмюра, пояс Роговского, плоские зонды ионного потока;

  • средства измерения ВЧ сигнала – определение тока, напряжения, фазы на устройствах генерирующих плазму;

  • анализаторы энергии частиц – устройства, позволяющие определить значение или множество значений энергии частиц плазмы, работающие по принципу отклонения или торможения частицы при различной энергии;

  • «свидетели» технологического процесса – применение эталонных образцов, с известным изменением свойств в ходе плазменной обработки, которые размещены вместе с объектом обработки, и относительно которых происходит контроль технологического процесса. Пример, контроль изменения светопропускания или электропроводности эталонного образца в ходе его плазменного травления;

  • калориметрирование контуров охлаждения – определение потерь тепла в узлах технологического оборудования;

  • измерение температуры узлов технологического процесса.

Компания PVS также предлагает индивидуальное исполнение оборудования серии PlasmaModular под Ваши задачи и индивидуальную разработку вакуумного оборудования по техническому заданию Заказчика.

Всегда открыты к сотрудничеству и развитию вместе с Вами!

 

Более подробную информацию Вы можете получить в рекламном проспекте в разделе Центр загрузок или обратившись к нашим специалистам.

  • Разработка продукта произведена при финансовой поддержке Фонда        содействия инновациям (http://fasie.ru/).

 

Сообщение отправлено, спасибо!