Главная / Оборудование / PVS PlasmaModular

PVS PlasmaModular

Настольные ВЧ плазменные системы

Оборудование серии PlasmaModular является модульными настольными вакуумными системами для проведения высокочастотной (ВЧ) плазменной обработки (RFPT технологии, от англ. Radio Frequency Plasma Treatment) различных материалов  и предназначено для решения широкого спектра технологических задач.

​

ВЧ плазма – уникальная форма газового разряда, которая позволяет формировать условия обработки материалов, недоступные другими способами: высокая чистота процесса, относительно низкая энергия ионов (10-300 эВ), не вызывает интегрального нагрева и деструкции материалов, объемное воздействие заряженных частиц.

​

Широкий потенциал оборудования обеспечивается схемой исполнения систем на базе единой платформы, в состав которой входят технические средства создания вакуума, измерения давления, подачи газов, управления, электропитания; и технологического модуля, в состав которого входят вакуумная камера и устройства генерации высокочастотного газового разряда, при этом платформа имеет стандартное конструктивное исполнение, тогда как технологический модуль может быть сменным и иметь различное конструктивное исполнение для различных технологических процессов обработки. Оборудование опционально оснащается аналитическими и диагностическими приставками для контроля параметров технологического процесса или проведения научных исследований.

Схемы исполнения технологического модуля:

​

а) Плазмохимическое травление (ПХТ/PE) - емкостная (ВЧЕ) форма разряда, где верхний электрод активный, нижний заземлен или под потенциалом смещения;

б) Реактивное ионное травление (РИТ/RIE) - обратная схема ПХТ;

в) Система с вращающимся барабаном для обработки сыпучих материалов. Подключение электродов и их конфигурация может варьироваться;

г) Травление в индукционно-связанной плазме (ИСП/ICP Etch) - индукционная (ВЧИ) форма разряда с цилиндрическим индуктором;

д) ИСП с плоской катушкой;

е) кварцевая камера с керамической антенной для процессов очистки и стерилизации;

ж) схема с кольцевыми электродами для обработки протяженных изделий.

• Модульная конструкция оборудования позволяет гибко и эффективно использовать потенциал техники в научных и технологических исследованиях или в промышленных процессах для малогабаритных объектов.

• Вы приобретаете оборудование, которое именно Вам необходимо, а не то что есть на рынке и без возможности дальнейшей модернизации в ходе исследовательской деятельности. Вы самостоятельно выбираете исполнение технологического модуля, состав комплектующих и необходимые аналитические и диагностические приставки для Вашей задачи, а мы Вам в этом помогаем.

• Наше решение модульного исполнения оборудования обеспечивает единство технических и метрологических средств обеспечения технологического процесса, и как следствие повышение объективности научно-технических результатов при сравнительных исследованиях влияния различных способов генерации ВЧ плазмы на объект исследования. Примером может служить технологический процесс травления пластин микроэлектроники и оптических изделий, который возможно реализовать при различных способах генерации плазмы – в ВЧЕ или ВЧИ разряде, и при различных конструктивных исполнениях вакуумной камеры и внутрикамерных устройств.

• Вы получаете самое доступное по цене и качеству предложение, потому что для нас унификация частей оборудование позволяет оптимизировать расходы на этапах проектирования, изготовления и модернизации.

Потенциал оборудования обеспечивает реализацию следующих технологических процессов на базе единой платформы:

​

• плазмохимическое и реактивное травление в ВЧЕ или ВЧИ разряде (PE, RIE, ICP Etch) оптических, полупроводниковых материалов, тонких пленок;

• плазмохимическое осаждение (PECVD) покрытий в результате реакций восстановления/пиролиза/замещения/соединения продуктов газовой фазы на поверхности изделий;

• плазмохимическая обработка порошков в целях восстановления/окисления, очистки, активации поверхности, дезагрегация наночастиц;

• плазменная полировка различных материалов - оптики, металлов, керамики и др.;

• плазменное ВЧ легирование металлов и сплавов - плазмастимулированная химико-термическая обработка;

• адгезионная активация поверхности полимеров и текстильных материалов - позволяет в разы увеличить адгезию поверхности перед покраской, пропиткой, нанесением покрытий и склеиванием;

• обработка пористых материалов для создания мембран тонкой очистки;

• технологии очистки и обеззараживания различных изделий.

​

Опциональные дополнения к оборудованию:

​

• Химостойкое исполнение вакуумной системы для агрессивных газов

• До 4-х линий подачи рабочих газов

• Автоматическое управление с ноутбука

• Различное исполнение технологического модуля

​

Аналитические/диагностические модули:

• масс-спектрометрия для анализа состава рабочих газов в камере во время процесса;

• оптическая спектрометрия плазмы – бесконтактный анализ параметров газового разряда (химического состава, концентрации и энергии частиц) по спектру излучения или поглощения;

• зондовая диагностика – зонд Ленгмюра, пояс Роговского, плоские зонды ионного потока;

• средства измерения ВЧ сигнала – определение тока, напряжения, фазы на устройствах генерирующих плазму;

• анализаторы энергии частиц – устройства, позволяющие определить значение или множество значений энергии частиц плазмы, работающие по принципу отклонения или торможения частицы при различной энергии;

• «свидетели» технологического процесса – применение эталонных образцов, с известным изменением свойств в ходе плазменной обработки, которые размещены вместе с объектом обработки, и относительно которых происходит контроль технологического процесса. Пример, контроль изменения светопропускания или электропроводности эталонного образца в ходе его плазменного травления;

• калориметрирование контуров охлаждения – определение потерь тепла в узлах технологического оборудования;

• измерение температуры узлов технологического процесса.

​

Компания PVS также предлагает индивидуальное исполнение оборудования серии PlasmaModular под Ваши задачи и индивидуальную разработку вакуумного оборудования по техническому заданию Заказчика.

​

Всегда открыты к сотрудничеству и развитию вместе с Вами!

Более подробную информацию Вы можете получить в рекламном проспекте в разделе Центр загрузок или обратившись к нашим специалистам.

​

• Разработка продукта произведена при финансовой поддержке Фонда        содействия инновациям (http://fasie.ru/).