
Treatment
Главная / Направления / PVS Treatment - Обработка в ВЧ плазме
Обработка в ВЧ плазме
![]() | ![]() |
---|---|
![]() |
PVS Treatment – подразделение компании, в круг интересов которого входят технологии и оборудование для обработки различных материалов в высокочастотной (ВЧ) плазме пониженного или атмосферного давления. ВЧ плазма – является уникальной формой газового разряда, которая позволяет формировать условия обработки материалов, недоступные другими способами: высокая чистота процесса, относительно низкая энергия ионов, объемное воздействие заряженных частиц и др. Данные особенности разряда определяют широкий спектр технологий применения ВЧ плазмы в различных отраслях промышленности.
По способу генерации ВЧ разряд разделяют на емкостной (ВЧЕ) и индукционный (ВЧИ). Каждая форма ВЧ плазмы имеет свои особенности, которые и определяют их применимость в той или иной технологии. Для генерации плазмы применяются источники электропитания (ВЧ генераторы), работающие на разрешенных радиочастотах – 1,76 МГц, 13,56 МГц и др. Рабочая частота также влияет на характеристики физического процесса и выбирается индивидуально, в зависимости от задачи.
Базовые технологии:
-
Плазменное травление:
- ВЧЕ Реактивное ионное травление (RIE);
- ВЧЕ Плазмохимическое травление (PE);
- ВЧИ Реактивное ионное травление (ICP Etch);
-
Плазменное легирование поверхностных слоев металлов и сплавов:
- Азотирование;
- Цементация;
- Легирование элементами металлорганических соединений;
- Легирование элементами из жидких соединений;
- пр.;
-
Плазменная модификация свойств различных материалов:
- Поверхностная активация (гидрофилизация/гидрофобизация) текстильных материалов;
- Плазмохимическое восстановление/окисление порошков и катализаторов;
- Сфероидизация порошков;
- Активация пористых материалов;
- Плазменная полировка;
-
Комбинированные методы;
-
и др.
Наш коллектив имеет большой опыт разработки технологий и оборудования для ВЧ плазменной обработки различных материалов: гидрофилизации СВМПЭ волокнистых материалов, травление фоторезистивных оптических пленок, активация алмазных порошков для гальванических процессов, упрочнение металлорежущего инструмента, развитие пор в мембранных материалах, полировка оптических материалов и многое другое.
Услуги:
-
Консалтинг. Выбор технологического решения Вашей технической задачи;
-
Проведение НИР/НИОКР по разработке технологии, согласно Вашему техническому заданию. Всегда открыты к кооперации с другими организациями для решения комплексных задач;
-
Проектирование и изготовление плазменного технологического оборудования;
-
Модернизация технологического оборудования: автоматизация процесса, замена комплектующих, обновление внешнего вида и пр.;
-
Ремонт и обслуживание оборудования;
-
Продажа технологического оборудования и комплектующих сторонних производителей.
Для заказа необходимого Вам технологического оборудования или разработки технологии просим выслать Техническое задание.