Главная / Направления / PVS Treatment - Обработка в ВЧ плазме

Обработка в ВЧ плазме

PVS Treatment – подразделение компании, в круг интересов которого входят технологии и оборудование для обработки различных материалов в высокочастотной (ВЧ) плазме пониженного или атмосферного давления. ВЧ плазма – является уникальной формой газового разряда, которая позволяет формировать условия обработки материалов, недоступные другими способами: высокая чистота процесса, относительно низкая энергия ионов, объемное воздействие заряженных частиц и др. Данные особенности разряда определяют широкий спектр технологий применения ВЧ плазмы в различных отраслях промышленности.  

По способу генерации ВЧ разряд разделяют на емкостной (ВЧЕ) и индукционный (ВЧИ). Каждая форма ВЧ плазмы имеет свои особенности, которые и определяют их применимость в той или иной технологии. Для генерации плазмы применяются источники электропитания (ВЧ генераторы), работающие на разрешенных радиочастотах – 1,76 МГц, 13,56 МГц и др. Рабочая частота также влияет на характеристики физического процесса и выбирается индивидуально, в зависимости от задачи.

Базовые технологии:

• Плазменное травление:

- ВЧЕ Реактивное ионное травление (RIE);

- ВЧЕ Плазмохимическое травление (PE);

- ВЧИ Реактивное ионное травление (ICP Etch);

• Плазменное легирование поверхностных слоев металлов и сплавов:

- Азотирование;

- Цементация;

- Легирование элементами металлорганических соединений;

- Легирование элементами из жидких соединений;

- пр.;

• Плазменная модификация свойств различных материалов:

- Поверхностная активация (гидрофилизация/гидрофобизация) текстильных материалов;

- Плазмохимическое восстановление/окисление порошков и катализаторов;

- Сфероидизация порошков;

- Активация пористых материалов;

- Плазменная полировка;

• Комбинированные методы;

• и др.

Наш коллектив имеет большой опыт разработки технологий и оборудования для ВЧ плазменной обработки различных материалов: гидрофилизации СВМПЭ волокнистых материалов, травление фоторезистивных оптических пленок, активация алмазных порошков для гальванических процессов, упрочнение металлорежущего инструмента, развитие пор в мембранных материалах, полировка оптических материалов и многое другое.

Услуги:

• Консалтинг. Выбор технологического решения Вашей технической задачи;

• Проведение НИР/НИОКР по разработке технологии, согласно Вашему техническому заданию. Всегда открыты к кооперации с другими организациями для решения комплексных задач;

• Проектирование и изготовление плазменного технологического оборудования;

• Модернизация технологического оборудования: автоматизация процесса, замена комплектующих, обновление внешнего вида и пр.;

• Ремонт и обслуживание оборудования;

• Продажа технологического оборудования и комплектующих сторонних производителей.

Для заказа необходимого Вам технологического оборудования или разработки технологии просим выслать Техническое задание.